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復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式 需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易；B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

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凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，白鐵通風管道廠，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10，000~100，000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、無塵車間、潔凈工作棚、潔凈風柜，層流車即屬此類。

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室內熱源產(chǎn)生的熱氣流，由于浮力作用而上升，并不斷卷吸周圍空氣。這樣由于熱氣流上升時的卷吸作用、后續(xù)新風的推動作用和排風口的抽吸作用，地板上方的新鮮空氣緩慢向上移動，形成類似于向上的均勻流的流動，于是工作區(qū)的污濁空氣為后續(xù)的新風所取代。當達到穩(wěn)定時，室內空氣在溫度、濃度上便形成兩個區(qū)域；上部混合區(qū)和下部單向流動的清潔區(qū)，這種通風方式稱為置換通風。熱置換通風的效果與送風條件有關。

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對于此類較高架構、跨度又比較大的鋼結構廠房，解決廠房通風降溫以及排煙問題的佳辦法是在屋頂安裝大排風量的抽風機，往室外排風；形成室內負壓；從車間四周壓入車間內大量新鮮空氣，形成空氣對流；這樣通風排煙的效果就比較好。

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