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復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈的空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式 需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易;B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

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凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級(jí)10,000~100,化驗(yàn)室通風(fēng)工程,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、無(wú)塵車間、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜,層流車即屬此類。
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加濕降溫噴霧機(jī)其工作原理是利用高速離心機(jī)和軸流風(fēng)機(jī)的復(fù)合作用將水變成水霧噴射出來(lái),再利用噴出的水霧蒸發(fā)使周圍環(huán)境溫度下降,濕度增加,同時(shí)由于風(fēng)機(jī)的作用使空氣產(chǎn)生對(duì)流,還可以起到環(huán)流風(fēng)機(jī)的作用。噴霧機(jī)可以固定安裝也可以單獨(dú)移動(dòng),對(duì)溫室面積較小使用靈活的場(chǎng)合,其優(yōu)點(diǎn)較顯著。
屋面噴淋 利用微噴系統(tǒng)將水直接噴灑于溫室屋頂,靠水份蒸發(fā)帶走潛熱降低屋頂溫度,未蒸發(fā)的水可經(jīng)由天溝回收利用。

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